К ПОСТРОЕНИЮ МОДЕЛИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ВАКУУМНЫМ ИСПАРЕНИЕМ

摘要

Предпринята попытка очертить круг явлений и законов, позволяющих в дальнейшем построить математическую модель процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением.