ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ КОНТРОЛЬ КЕРАМИЧЕСКИХ КОЛЕЦ

摘要

Представлены результаты разработки оптико-электронной установки для бесконтактного контроля размеров изделий из вакуумной керамики, в том числе с металлизированной поверхностью. Установка позволяет измерять и контролировать следующие геометрические параметры кольцевых изделий: внутренний и наружный диаметры, соосность цилиндрических поверхностей, высоту, плоскостность и параллельность торцевых поверхностей с погрешностью 5-10 мкм (в зависимости от параметра), а также наличие дефектов - сколов на кромках.