Рассмотрены датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем для ракетной и авиационной техники, в том числе с минимизированным влиянием нестационарных температур и виброускорений, расширенным диапазоном температур и улучшенными характеристиками.
展开▼
