円筒空洞共振器を用いた薄型誘電体平板のミリ波誘電率測定に関する一検討

摘要

厚さが数十ミクロン以下の薄い誘電体平板材料のミリ波誘電率を、円筒空洞共振器法を用いて測定評価する際の誤差要因を考察し、現状の測定分解能について、理論的·実験的に検討すると共に、さらに測定分解能を高めるための手法について、理論的に検討する。