Эллипсометрическое исследование термического окисления поверхности циркония, алюминия и сплава Al-1,36% (ат.) Zr

摘要

Методом одноволновой эллипсометрии изучена кинетика роста оксидных слоев на поверхности циркония, алюминия и сплава Al-1,36% (ат.) Zr в условиях отжига на воздухе при температурах от 200 до 600°C. Получены оптические постоянные металлов (подложки) И ОКСИДНЫХ пленок для волны 0,6328 мкм. Анализ кинетических зависимостей показал, что окисление металлов и сплава описывается параболическим законом. Наибольшую устойчивость к термическому окислению проявляет поверхность алюминия, несмотря на более высокое, по сравнению с цирконием, сродство к кислороду (ΔG_(25°C)~0/ΔG_(500°C)~0=-1582/-1540 кДж/моль для Al и -1037/-951кДж/моль - Zr). Одной из причин устойчивости алюминия и сплава Al-1,36% (ат.) Zr является более высокая температура кристаллизации аморфной пленки оксида алюминия, чем аморфного оксида циркония.