粉体技術とナノテクノロジーの接点：ナノ粒子製造と気相重合プロセス

摘要

平均径，粒度分布，組成などが制御された微粒子が，種々の分野で重要な材料となっている。 粒径が数μm以下の微粒子を気相分散状態で製造する気相プロセスは，エアロゾル（煙霧体）プロセスとも呼ばれ，図1に示すような生成過程により粒子が製造される。 すでにカーボンブラック，TiO{sub}2，ZnO，SiO{sub}2などの顔料やフィラー，光学材料，セラミックス，磁気材料などの原料粉として工業的規模で微粒子の製造が可能となっている。 さらに，固体物質の大きさが数十nm（ナノメートル）以下の超微粒子（以下ナノ粒子と呼ぶ）になると，いわゆる量子サイズ効果によってさまざまな機能の発現が期待される。 特に粒径が1nmから10nmの範囲のシングルナノ粒子は，高性能化，高機能化，小型化，省資源化などが要求される新しいデバイス用材料として，将来重要になると考えられている。