Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М

Д.Д. Васильев; К.М. Моисеев

首页> 外文期刊>УПРОЧНЯЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ И ПОКРЫТИЯ >Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М

【24h】

Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М

机译：通过无功高频磁控磁控喷涂在PPE-11M安装中形成二氧化硅的特征

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

获取外文期刊封面封底 >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

团队文献服务 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

Проведено моделирование процесса реактивного высокочастотного (ВЧ) магнетронного распыления кремния в среде аргона и кислорода. Теоретически обоснованы взаимосвязи параметров нанесения, при которых происходит осаждение диоксида кремния с максимальной скоростью. Проведены эксперименты, подтверждающие теоретические расчеты.

机译：氩气中硅的反应高频（HF）磁控溅射过程建模。理论上实质地证实了应用参数之间的关系，其中二氧化硅以最大速度沉淀。确认理论计算的实验。

著录项

来源
《УПРОЧНЯЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ И ПОКРЫТИЯ》 |2016年第136期|共5页
作者
Д.Д. Васильев; К.М. Моисеев;
展开▼
作者单位

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана;

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类钢铁冶炼（黑色金属冶炼）（总论）;
关键词
защитные тонкопленочные покрытия; реактивное магнетронноераспыление; диоксид кремния; моделирование; скорость осаждения.;

机译：保护性薄膜涂层;反应磁阻;二氧化硅;建模;降水率。;

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Recent progress in [ 11 11 C]carbon dioxide ([ 11 11 C]CO 2 2 ) and [ 11 11 C]carbon monoxide ([ 11 11 C]CO) chemistry [J] . Taddei Carlotta, Gee Antony D. Journal of Labelled Compounds and Radiopharmaceuticals . 2018,第3期

机译：[11 11 C]二氧化碳（[11 11 C] CO 2 2）和[11 11 C]一氧化碳（[11 11 C] CO）化学中的最新进展
2. On the effect of Ga and In substitutions in the Ca 11 11 Bi 10 10 and Yb 11 11 Bi 10 10 bismuthides crystallizing in the tetragonal Ho 11 11 Ge 10 10 structure type [J] . Ovchinnikov Alexander, Bobev Svilen Acta crystallographica. Section C, Structural chemistry. . 2018,第3期

机译：关于Ga和在Ca 11 11 Bi 10 10和Yb 11 11 Bi 10 10铋在四边形HO 11 11 Ge 10 10结构型中结晶的影响
3. Drosophila Pkaap regulates Rab4/Rab11-dependent traffic and Rab11 exocytosis of innate immune cargo Drosophila Pkaap regulates Rab4/Rab11-dependent traffic and Rab11 exocytosis of innate immune cargo Drosophila Pkaap regulates Rab4/Rab11-dependent traffic and Rab11 exocytosis of innate immune cargo [J] . Douglas A. Brooks, Alexandra Sorvina, Tetyana Shandala Biology Open . 2016,第6期

机译：果蝇Pkaap调节天然免疫货物的Rab4 / Rab11依赖性运输和Rab11胞吐作用果蝇Pkaap调节天然免疫货物的Rab4 / Rab11依赖性运输和Rab11胞吐作用果蝇Pkaap调节天然免疫货物的Rab4 / Rab11依赖性运输和Rab11胞吐作用
4. Facile Syntheses of PET Radiotracers ~(11)CTetrazoles and ~(11)CTriazines by Utilizing Palladium-Mediated ~(11)C-Cyanation of (Hetero)Arylborons [C] . Zhouen Zhang, Takashi Niwa, Yasuyoshi Watanabe 日本化学会春季年会講演予稿集 . 2018

机译：通过利用钯介导的〜（11）C-氰基（杂种）芳基染色剂（杂官）芳龙（杂种）芳基染色剂（杂种）芳龙（HotiO）芳基染色剂（杂种）芳基染色剂（杂种）
5. Interpretation of Delta9-tetrahydrocannabinol (THC), 11-hydroxy-THC (11-OH-THC) & 11-nor-9-carboxy-THC (THCCOOH) concentrations in blood and urine of frequent cannabis users. [D] . Schwilke, Eugene W. 2010

机译：经常吸食大麻者的血液和尿中Delta9-四氢大麻酚（THC），11-羟基-THC（11-OH-THC）和11-nor-9-羧基-THC（THCCOOH）浓度的解释。
6. Diethyl 78-dibromo-411-dioxo-11b11c-dihydro-5H10H-2-oxa-3a4a10a11a-tetraazabenzfindeno2177a-ijaazulene-11b11c-dicarboxylate [O] . Yan Chen, Nengfang She 2009

机译：77-二溴-411-二氧11b11c-二氢-5H10H-2-oxa-3a4a10a11a-四氮杂苯f indeno 2177a-ija azulene-11b11c-二羧酸酯
7. ‘RW11-17’, ‘RW11-1860’, ‘RW11-2419’, ‘RW11-2560’, ‘RW11-2910’, and ‘RW11-4923’ Sweetpotato [O] . Damien Shumbusha, Jean Ndirigwe, Lydia Kankundiye, 2014

机译：'rw11-17'，'rw11-1860'，'rw11-2419'，'rw11-2560'，'rw11-2910'和'rw11-4923'sweetpotato
8. Solvent Hold Tank Sample Results for Mcu-11-1452, Mcu-11-1453, Mcu-11-1454, Mcu-11-1455, Mcu-11-1456 and Mcu-11-1457 [R] . Peters, T., Fink, S., Fondeur, F. 2012

机译：mcu-11-1452，mcu-11-1453，mcu-11-1454，mcu-11-1455，mcu-11-1456和mcu-11-1457的溶剂保持罐样品结果

Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅