サブミクロン精度の高精度計測をインラインで超高速干渉計側3次元センサ「heliInspectシリーズ」

摘要

対象物の3次元形状を計測する手法は様々だが、サブミクロンオーダーで計測可能な手法として、光干渉法がある。リンクスでは、2013年初頭よりheliotis社（スイス）の光干渉断層3次元計測センサ「heliInspectシリーズ」の取扱いを開始した（図1）。heliotis社の光干渉断層計測3次元センサは、対象物の3次元形状をサブミクロンの高精度で計測することを可能としている。