МЕТОДИКА АНАЛИЗА ПАНОРАМНЫХ ИЗОБРАЖЕНИИ АТОМНО-СИЛОВОИ МИКРОСКОПИИ

摘要

Предложена методика количественного анализа панорамных изображений, полученных с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ). Методика включает: фильтрацию искажений, возникающих в результате временной потери контакта между зондом и образцом; объединение данных, полученных с помощью АСМ на перекрывающихся участках сканирования поверхности исследуемого образца; сегментацию полученного в результате такого объединения панорамного АСМ-изображения.