ВЛИЯНИЕ ОБРАБАТЫВАЕМОГО МАТЕРИАЛА НА СВОЙСТВА ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

摘要

Исследованы влияния изделия, а также состава плазмообразующего газа на характеристики высокочастотного емкостного разряда пониженного давления с продувом газа. Плазма высокочастотных (ВЧ) разрядов пониженного давления (p=13,3...133 Па) является эффективным инструментом обработки поверхности различных материалов. В результате ее воздействия возможно улучшение сразу нескольких параметров, например, повышение усталостной прочности одновременно с наведением в поверхностном слое сжимающих остаточных напряжений и уменьшением шероховатости [1, 2].