Применение CCD-камеры для рентгенофлуоресцентного анализа с пространственным разрешением в исследованиях изменения структуры конструк

摘要

Описывается способ исследования пространственных распределений химических элементов в многокомпонентных образцах с помощью рентгеновской CCD-камеры. В данном способе используется флуоресцентное излучение химических элементов образца, возбуждаемых излучением статической рентгеновской трубки. Изображение флуоресцирующей поверхности образца формируется на рентгеночувствителъной матрице CCD-камеры с помощью камеры-обскуры. Регистрация рентгеновского излучения осуществляется в режиме счета отдельных фотонов. Приводятся результаты исследований характеристик CCD-камеры, алгоритм компьютерной программы обработки данных, а также примеры полученных изображений тестовых объектов и шлифа промышленного сплава. Показано, что данным методом можно получать картины распределения химических элементов в многокомпонентных образцах с пространственным разрешением не хуже 20 мкм.