過熱水蒸気の温度·湿度センシングのための保水制御－局部静電容量による湿潤状態検出に基づく制御と安定化

摘要

近年，乾燥や殺菌，調理などの分野において，過熱水蒸気の利用が拡大している．過熱水蒸気を利用する加工装置では，気流温度とともに装置内の水蒸気濃度も重要な操作パラメータである．そのため，高温下で利用可能で経済的な湿度センサが求められている．また，高温下で湿度センシングをするときには感湿部の適切な保水状態の維持が求められる．本稿では，感湿部の湿潤状態検出のための水分量センサの原理と，その水分量センサを用いて開発した湿度センサの構造について示した．そして，局部水分量センサを用いて湿潤状態検出が可能であることと，水分量センサを用いた保水制御が有効であることを明らかにした．