スニッフア法用標準リークの校正システムの開発

摘要

漏れ検査を正確に行うためには、漏れ量定量化の基準となる標準リークを正しく校正する必要がある。大気中、真空中双方への気体微少流量が正確に測定可能な定容流量計を設計·試作し、スニッフア法用標準リークの校正システムを構築した。そのシステムを用いて、5×10~(-7)pa m~3/s～1×10~(-4)pa m~3/sの依頼試験による校正サービスを開始した。ガス種は、ヘリウム、窒素、R-134a である。また、細管型標準リークを通過する気体流量を実測した結果、細管型標準リークは実際に使用する条件下での校正が必要であることがわかった。