微粒子除去におけるフッ素系洗浄剤·システムの適用

摘要

そして近年のデバイスの細密化、高集積化に伴い、洗浄工程の中でも特に精密洗浄、微粒子除去の重要性のウェートがますます高まってきている。そしてこの微粒子除去洗浄に最も適した物性を有しているのがフッ素系洗浄剤である。本稿において、このフッ素系洗浄剤を用いた微粒子除去およびその最適システムについて述べる。