静電誘導給電法による放電加工の微細化

摘要

静電誘導給電を用いた放電加工は両極性放電加工であるが，ダイオードを極間に並列接続することで単極性放電化できる．単極性放電化により放電痕径はやや大きくなるものの，小さい放電痕のみ選択的に得られる．したがって，従来よりも微細な加工が可能である．放電痕径が大きくなる原因は，充電直前の極間容量の初期電圧の違いである．また，ダイオードの容量成分によっても放電痕径が大きくなることが懸念されたが，極間に並列接続した容量成分は，むしろ放電エネルギーを下げ，微細化に有利であることがわかった．また，本加工法はWEDGに適用可能である．微細軸成形を試みた結果，約Φ1μm程度の微細軸が待ちれた．