ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ

摘要

Представлена модифицированная вакуумно-дуговая установка промышленного типа общей мощностью 120 кВт для нанесения функциональных покрытий на детали ответственного назначения. Особенностью установки является использование более простых в изготовлении восьми планарных катодов вместо одного трубчатого, что обеспечивает более длительный ресурс работы установки без замены испаряемых элементов, снижение уровня порогового тока дугового разряда, более высокий коэффициент использования материала катодов, а также получение в одном технологическом процессе двухслойных покрытий с различным содержанием легирующих элементов (например, А1 в титановом сплаве) в каждом слое путем последовательного использования четырех катодов с одним химсоставом и затем следующих четырех катодов с другим химсоставом. В предлагаемой установке предусматривается также использование импульсно-модулированного источника питания подложкодержателя, что позволяет получать высококачественные слои металлических и неметаллических покрытий на поверхности рабочих изделий. Отработана технология катодно-дугового испарения с использованием планарных катодов из технически чистого титана и никелевых сплавов СДП-2 и СДП-6 на модифицированной вакуумно-дуговой установке Булат-ЗТ. Представлена структура поверхности и поперечного излома конденсата СДП-6 толщиной 60...80 мкм и распределение металлических элементов по толщине конденсата, свидетельствующее о химической однородности осажденного слоя. Для примера показана также лопатка из жаропрочного никелевого сплава ЖС6 с нанесенным таким образом функциональным покрытием из сплава СДП-6.