日立真空紫外分光光度計 U-7000

摘要

日立ハイテクノロジーズでは、2002年9月、高まる次世代半導体リソグラフィ材料の光学特性測定ニーズに応えるため、市場より高い評価を受けている日立独自の大型分光器技術を取り入れたU-7000形真空紫外分光光度計(図1)を発売した。