Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении

摘要

Представлены результаты использования металлического режима распыления для очистки поверхности мишени непосредственно в ходе технологического процесса напыления покрытия. Показано, что введение в технологический процесс дополнительных этапов распыления в металлическом режиме позволяет на ≈23% повысить скорость роста толщины покрытия CrN/AlN, незначительно снижая его физико-механические свойства по сравнению с технологическим процессом непрерывного магнетронно-ионного реактивного распыления.