Коррекция характеристик пьезодвигателя наноперемещений

摘要

Исследовано влияние корректирующих обратных связей на динамические характеристики пьезодвигателя наноперемещений. Построена параметрическая структурная схема пьезодвигателя и определено воздействие параметров пьезодвигателя и внешней нагрузки на его статические и динамические характеристики, получены передаточные функции пьезодвигателя.