Многомерная структурно-параметрическаямодель составного пьезодвигателя наноперемещений

摘要

Построены многомерныеструктурно-параметрическая модель и параметрическаяструктурная схема составного пьезодвигателя приуправлении по напряжению для пьезоприводананоперемещений. Определено влияние геометрических ифизических параметров составного пьезодвигателя ивнешней нагрузки на его статические и динамическиехарактеристики, получены передаточные функциисоставного пьезодвигателя для пьезоприводананоперемещений.