三洋化成、半導体用洗浄剤を国内生産～京都で初年度700t生産

摘要

三洋化成工業は半導体関連材料メーカーATMI（米コネティカット）から輸入販売してきた半導体配線工程用高性能CMP（化学的機械的平坦化）後洗浄剤「ジャスペンESC」シリーズを国内で自社生産し始めた。 ATMIから生産技術ライセンスの供与を受け、京都工場内に専用設備を設置。 国内ユーザーへの安定供給を図る。初年度の生産計画量は700トンで、国内需要を見ながう増産も視野に入れる。