JSR、米ハネウエル社製の下層反射防止膜を全世界で販売

摘要

JSRは、米ハネウエル·エレクトロニク·マテリアルズ社製の下層反射防止膜（商品名：DUO）を全世界で販売する。このほど基本合意したもので、90日以内に正式契約を締結する。 JSRは、次世代配線材料のDUOを品揃えに加えることで、既に製品展開しているフォトレジスト、CMP材料、low－k材料と併せて幅広く材料面からソリューションを提供できることが可能となり、半導体材料事業をさらに加速していく。