SiC利用の期待高まる

摘要

高純度塩化水素（5N以上）の10年需要は前年比9％増の240tだった推定される。11年も同様の傾向で推移すると見られる。主力のアルミエッチング向け、シリコンウエーハのエピタキシャル成長向けと光ファイバー用の回復が影響したと見られる。用途はシリコン半導体のドライエッチング（シリコン、アルミ）の他、シリコンウエーハのエピタキシャル成長、エビ炉のクリーニング用である。