プロピレン処理に特化した排ガス処理装置を販売開始

摘要

大手排ガス処理装置メー カーのカンケンテクノ （今村 啓志社長） は、半導体プロセ スにおけるアモルファスカー ボンハードマスク成膜のプラ ズマCVD用材料として使用 増加が見込まれるプロピレン （C3H6） に対応した排ガス 処理装置を3月から発売した。