ВЛИЯНИЕ СОСТАВА ГАЗА НА КИНЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОНОВ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ СМЕСИ Ar-O2

摘要

На основе решения уравнения Больцмана и измеренных приведенных напряжен-ностей электрических полей проведены расчеты функций распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) и кинетических характеристик электронов для плазмы разряда по-стоянного тока в смеси Ar-O2. Показано, что при заданном токе разряда и давлении уве-личение содержания кислорода приводит к уменьшению концентрации электронов и экстремальной зависимости констант скоростей процессов с участием электронов.