Новые методы оценки деформаций при измерении линейных пара метров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне

摘要

Разработаны новые методы и средства измерений с разрешающей способностью 0,1 нм, позволяющие решить проблему объективной достоверной оценки влияния деформаций на точность контроля прецизионных деталей в нанометровом диапазоне и определения параметров этих деформаций.