О некоторых возможностях улучшения метрологической прослеживаемости линейных измерений в нанометровом диапазоне

摘要

Предложен новый подход к линейным измерениям в нанометровом диапазоне, основанный на измерении времени прохождения электромагнитной волны между двумя точками, ограничивающими измеряемый объект. Использованы частотные методы, позволяющие повысить разрешающую способность линейных измерений и улучшить их прослеживаемость в указанном диапазоне.Одно из важнейших направлений нанометрологии, способствующих развитию нанотехнологий и наноиндустрии, - разработка высокочувствительных методов и создание нового поколения высокоточных средств измерений (СИ) линейных размеров и суперпрецизионных перемещений объектов в нанометровом диапазоне с предельно достижимой точностью, а также методов и средств их калибровки.