Прецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрии

摘要

Рассмотрена возможность использования в нанометрии разработанного цифрового фотоэлектрического интерферометра для измерений малых перемещений. Проанализирован частный случай использования интерферометра, имеющего достаточные показатели по точности, надежности, функциональности и высокий индекс интерполяции для цифровой фиксации перемещений в нанометровом диапазоне.