Метод прецизионного автоматического контроля градиента показателя преломления стеклянных пластин

摘要

Описаны метод и оптическая интерференционная схема, предназначенные для точных градиентных измерений параметров стеклянных элементов, и проведена оценка абсолютной погрешности измерения градиента показателя преломления тонких стеклянных пластин.