首页> 外文期刊>Доклады Академии наук >АДАМАНТАНСОДЕРЖАЩИЕ ПРОСТЫЕ АРОМАТИЧЕСКИЕ ПОЛИЭФИРЫ С НЕНАСЫЩЕННЫМИ ГРУППАМИ В ОСНОВНЫХ И БОКОВЫХ ЦЕПЯХ МАКРОМОЛЕКУЛ
【24h】

АДАМАНТАНСОДЕРЖАЩИЕ ПРОСТЫЕ АРОМАТИЧЕСКИЕ ПОЛИЭФИРЫ С НЕНАСЫЩЕННЫМИ ГРУППАМИ В ОСНОВНЫХ И БОКОВЫХ ЦЕПЯХ МАКРОМОЛЕКУЛ

机译:含有不饱和基团的含有不饱和基团的含有较大的大分子的简单芳香族聚酯

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Простые ароматические полиэфиры (ПАПЭ) характеризуются уникальной комбинацией физико-химических свойств, что позволяет использовать эти полимеры в микроэлектронике для разработки перспективных термостойких негативных фоторезистов, которые могут найти практическое применение в литографических процессах производства интегральных схем [1,2].
机译:简单的芳族聚酯(PAHE)的特征在于物理化学性质的独特组合,其允许这些聚合物在微电子中培养有前途的耐热负性光致抗蚀剂,该耐热性负性光致抗蚀剂可以在集成电路的生产中的光刻过程中找到实际应用[1,2]。

著录项

  • 来源
  • 作者单位

    Всероссийский научно-исследовательский институт лекарственных и ароматических растений Москва;

    Всероссийский научно-исследовательский институт лекарственных и ароматических растений Москва;

    Всероссийский научно-исследовательский институт лекарственных и ароматических растений Москва;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 rus
  • 中图分类 自然科学总论;
  • 关键词

获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号