フラウンホーファー電子ビーム·プラズマ技術研究所（VII）

摘要

ドイツのフラウンホープァー電子ビーム·プラズマ技術研究所（FEP）の技術はすでに2001年5月号から2002年2月号に掲載済みであるが、今月号ではたいへh興味深いFEPの最新の高速スパツタ用矩形波パルス電源技術"パルスパッケージ'をトピックスとして紹介する。