Fe/TiN 人工多層膜を用いたトラップ水素位置の解析

摘要

1200MPa 超級の高強度鋼では、水素脆化の防止が最重要課題の一つである。水素脆化は、腐食反応などにより発生? 吸蔵された拡散性水素に起因すると考えられている。このため、水素脆化の防止策の一つとして、拡散性水素のトラッ プ作用を有するTi やV などの炭窒化物の分散が試みられている１）。これらの炭窒化物による水素のトラップ挙動は、 これまで昇温脱離分析法などによって調べられているが、多くはサブミクロン以下の微細析出物形態であることから、 トラップ水素が炭窒化物の中に取り込まれているか、あるいは鉄と炭窒化物界面に存在しているのかを直接検出した例 は少ない２）。本稿では、Fe とTiNの多層膜を人工合成して、水素チャージを行い、大気圧イオン化質量分析法（API-MS） と二次イオン質量分析法（SIMS）によりトラップ水素の存在位置（分布）の解析を試みたので、その結果を報告する。