首页> 外文期刊>Конструкции из композиционных материалов >Термооксидирование наноразмерных биметаллических полупроводниковых пленок
【24h】

Термооксидирование наноразмерных биметаллических полупроводниковых пленок

机译:纳米级双金属半导体薄膜的热氧化

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
       

摘要

Представлены результаты термического оксидирования тонкопленочных желе-зоникелиевых твердых растворов вблизи чистых компонентов, как со стороны железа, так и со стороны никеля, полученных методом магнетронного напыления на пластины монокристаллического кремния. Показано, что на монотонно изменяющихся зависимостях состав-свойство появляются особые (аномальные) точки, выраженные в виде экстремумов. Для систем Fe-Ni и Ni-Fe такая точка соответствует содержанию легируемого металла около 1 ат. %. Предполагается, что в данных областях образуются более совершенные по составу оксиды железа и никеля, изначально обладающие дефицитом металла (Fe_3O_4, FeO, NiO) или кислорода (Fe_2O_3). При окислении Ni-Fe обнаружены также соединения этих металлов, такие как, например, NiFe и NiFe_3.
机译:给出了通过磁控溅射在单晶硅晶片上获得的,纯铁附近和镍附近的薄膜铁-带状-镍固溶体热氧化的结果。结果表明,以极值形式表示的特殊(异常)点出现在单调变化的成分-属性依赖性上。对于Fe-Ni和Ni-Fe系统,该点对应于约1 at。%的合金金属含量。 %。据推测,在这些区域中,形成了具有更完美组成的铁和镍氧化物,最初具有金属(Fe_3O_4,FeO,NiO)或氧气(Fe_2O_3)的不足。在Ni-Fe的氧化过程中,还发现了这些金属的化合物,例如NiFe和NiFe_3。

著录项

获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号