Для мирового высокотехнологичного производства в настоящее время актуальны задачи получения изделий с погрешностями изготовления менее 100 нм. Достаточно давно разработаны технологии, оборудование и инструментальное оснащение для достижения наноразмерной точности при хонинговании, полировании, выглаживании и выхаживании. Их применение позволяет обеспечить значения параметра шероховатости Ra до 2 нм. Однако данные процессы относятся к доводочным операциям - невозможно управление погрешностями размера и геометрической формы при обработке. Алмазное тонкое точение позволяет обеспечить точность лишь в микрометрическом диапазоне. В связи с этим исключительный интерес представляет создание технологического оборудования, позволяющего обеспечить наноразмерную точность обработки методами точения и фрезерования для широкого спектра обрабатываемых материалов. Основной проблемой является то, что различным группам материалов соответствуют различные области скоростей резания для достижения наилучшей обрабатываемости материалов (рис. 1) [1-3], а ввиду высокой стоимости такого оборудования весьма затратны создание и эксплуатация технологического оборудования, предназначенного для обработки материалов каждой из групп.
展开▼
