Электромеханическая деформация и расчет характеристик шаговых пьезодвигателей нано- и микроперемещений

摘要

Рассчитаны электромеханическая деформация и статические и динамические характеристики пьезоэлектрического фиксатора и пьезопреобразователя шагового пьезодвигателя нано- и микроперемещений. Для шагового пьезодвигателя построена параметрическая структурная схема составного пьезопреобразователя при продольном и поперечном пьезоэффекте при управлении по напряжению. Определено влияние геометрических и физических параметров составного пьезопреобразователя и внешней нагрузки на его статические и динамические характеристики, получены передаточные функции составного пьезопреобразователя.