Исследование механизмов формирования объемных регулярных структур на поверхности кремния при воздействии импульсом компрессионной п

摘要

Рассмотрены механизмы формирования объемных поверхностных субмикронных структур, впервые полученных на пластинах кремния в результате воздействия на них компрессионными плазменными потоками. Проведен анализ некоторых физических процессов, связанных с анизотропией свойств структуры и генерацией гиперзвуковых колебаний, возникающих в системе на стадии кристаллизации.