СТРОБОСКОПИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ НАНОМАСШТАБНОГО РАЗМЕРА ПОДВИЖНОГО ЭЛЕМЕНТА ИНЕРЦИОННОГО МИКРОСЕНСОРА

摘要

В настоящее время в связи с развитием микроэлектромеханических систем (МЭМС) и нанотехники возникла необходимость в изменениях очень малых перемещений наномасштабного диапазона подвижных элементов приборов, возбуждаемых, например, микровибрациями. Прямое измерение таких перемещений с помощью оптических приборов, которые предусматривают облучение подвижных элементов короткими световыми импульсами и регистрацию отраженных от подвижного элемента световых сигналов, вызывает очень большие трудности. Эти трудности преодолеваются при последовательном измерении малых перемещений в растянутом масштабе времени на основе т. н. стробоскопического метода. Реализация этого метода в частности обеспечивается с помощью пленарного анализатора перемещений типа РМА-300 фирмы ФРГ Polytec GmbH. В Лаборатории микро- и наноси-стем Сингапурского Национального Университета с помощью анализатора РМА проводились исследования инерционного микросенсора на основе использования стробоскопического метода. Работа микросенсора основана на регистрации туннельных электрических токов, протекающих между неподвижным и подвижным электродами, разделенных зазором нанометрового размера.