Для поворотного стола нового типа с бесконтактной магнитной опорой TransRapid, предназначенного как для обработки, так и для силового позиционирования крупногабаритных изделий, была разработана оптоэлектронная накапливающая система для измерения угла вращения и регулирования воздушного зазора между ротором и статором, образованным обмотками электромагнитов. Принципиально новый метод измерений основан на использовании трапецеидальной непрозрачной структуры, в которой непараллельные стороны трапеций образуют световые барьеры, генерирующие сигнал позиционирования с высокой разрешающей способностью. С помощью второго светового барьера, комбинируя измерение и счет, можно определить как угловое положение, так и направление вращения ротора. Оптические структуры шкалы могут работать как в проходящем, так и в отраженном свете, причем в первом случае структура напыляется на поверхность кварцевого стёкла, образуя прозрачные и непрозрачные участки, теневая проекция которых используется измерительной системой; во втором случае на носителе из металла, стекла, церодура или пластмассы образуются отражающие и поглощающие участки [3]. Собственно "инкремент" имеет форму трапеции, в пределах которой возможна интерполяция для повышения разрешающей способности. Фрагмент кодовой системы показан на рис. 1, где 1 - строка ПЗС-датчика, 2 - склон стороны трапеции, 3 - Z-позиция трапецеидальной структуры.
展开▼
