В технических микросистемах, изготавливаемых современным производством, содержится значительное число приборов и элементов микрометровых размеров, которые по трем ортогональным осям различаются в большое число раз. К их числу относятся микрозубчатые передачи, микрозеркала, применяемые в оптических переключателях, трубчатые микроканалы в гидравлических системах, гидросопла для вспрыска топлива в миниатюрных реактивных двигателях. Измерение геометрических параметров этих приборов и элементов обычно производится с помощью координатных измерительных машин, содержащих жесткие контактные щупы.
展开▼
