Ближние примесей на оптические свойства монокристаллического кремния

摘要

По экспериментально измеренным спектральным зависимостям коэффициентов пропускания и отражения монокристаллического Si n-типа, легированного фосфором и сурьмой, определены значения показателя преломления и коэффициента экстинкции Si в интервале 750-1100 нм. Установлено, что с увеличением концентрации легирующих примесей показатель преломления увеличивается в интервале 750-860 нм и уменьшается в интервале 900-1100 нм. Коэффициент экстинкции слабо зависит от концентрации примеси.