汚染計測の現状そ課題

摘要

今回汚染計測の現状と課題と言うことで、ITRSでの金属汚染の管理数値の算出経緯や実情、金属汚染分析法としての全反射蛍光Ⅹ線分析法における最近のアプリケーションなどを中心に述べてきた。最近では、新材料、新プロセスが次々に導入される中、金属汚染についても新たな視野からアプローチすることが求められている。今回本稿をまとめるに当り、STRJのWG11（YE、特にWECCグループ）での議論を参考にさせて項くと共に、白水氏のセミナーでの発表分1）を大いに参考にさせて項いた。またSEAJでの議論も参考にした。この場を借りて、謝意を表したい。