静電気障害防止技術（その1）

摘要

以上、イオナイザの除電原理、イオナイザの種類と特徴について解説し、また、イオナイザの選是方法と使用上の注意点、イオナイザの性能評価方法について説明した。 更に、イオナイザをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザについて述べた。 イオナイザは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。 除電対象に合わせて適切なイオナイザを遺志することは、除電効果を決める重要なポイントである。 それ故、本稿執筆にあたり、読者がイオナイザを使用する際に、イオナイザの適切な遺志方法や使用方法が分かるように配慮した。 本稿が何かしら読者の一助になれば幸いである。