МЕТОД ОЦЕНКИ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ РЕЛЬЕФНО-ФАЗОВЫХ ГОЛОГРАММНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И ЕЕ ВЛИЯНИЯ НА ИХ ИЗОБРАЖАЮЩИЕ СВОЙСТВА

摘要

Описан способ определения коротковолновой границы применимости рельефно-фазовых голограммных оптических элементов (РОЭ), обусловленной шероховатостью их поверхности. Его суть заключается в использовании данных, получаемых с помощью атомно-силового микроскопа, для определения усредненной по базовой площади, т. е. площади сканирования, формы профиля рельефа ГОЭ; в определении на ее основе усредненных по той же базовой площади значений ереднеквадратической шероховатости его поверхности и в последующем расчете граничной длины волны применимости ГОЭ. Разработан программный модуль для реализации способа.