Описано применение метода особенность-ориентированного сканирования (о.о.с.) для математической обработки выходного оптического изображения неохлаждаемой инфракрасной (и.к.) матрицы 32 × 32 элемента. Чувствительные элементы и.к.-матрицы представляют собой микромеханические биматериальные и.к.-приемники. Рассматриваемая и.к.-матрица является микрооптомеханической системой (м.о.м.с.). Считывание оптического изображения матрицы в видимой области спектра осуществляется посредством оптического профилометра (интерференционного микроскопа). Предлагаемый метод позволяет исключить из выходного оптического изображения точки, не несущие полезной информации об изображаемом и.к.-объекте, а также учесть артефакты, вносимые считывающим профилометром. Метод пригоден для определения массива корректирующих коэффициентов, устраняющих неодинаковую реакцию биматериальных приемников матрицы на входное и.к.-излучение. Метод также можно использовать для автоматической характеризации экспериментальных м.о.м.с. и выборочного выходного контроля серийных м.о.м.с.
展开▼
