Описан светодиодный магнитооптический эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации, отличительными особенностями которого являются: реализация максимально глубокой азимутальной модуляции, применение двухканального детектора, использование набора светодиодов, обеспечивающих высокое отношение сигнал/шум, и отсутствие движущихся поляризационных элементов. Эти особенности позволили существенно повысить воспроизводимость измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ ферромагнитных материалов, а также их изменений (δΨ и δΔ) в магнитном поле, связанных для поперечной конфигурации Керра простыми соотношениями с магнитооптическими параметрами. На длинах волн 365, 372, 390, 405, 420 и 465 нм воспроизводимость измерений Ψ, δΨ и Δ, δΔ пленок металлов составила около 0.0003° и 0.001° соответственно. Спектральное разрешение равно 4 нм; минимальное время измерения Ψ и Δ в непрерывном спектральном диапазоне 270-1000 нм составило 20 с; величина магнитного поля изменяется в диапазоне от -2500 до +2500 Э; дискретность установки магнитного поля 0.5 Э.
展开▼
机译：描述了一种具有切换正交偏振态的LED磁光椭圆仪，其独特之处在于：实现了最深的方位调制，使用了两个通道的检测器，使用了一组提供高信噪比的LED以及没有移动的偏振元件。这些特征使得通过与磁光参数的简单关系，可以显着提高铁磁材料的椭偏参数measurements和Δ的测量值以及它们在磁场中的变化（δΨ和δΔ）在磁场中的可重复性，这些变化与横向Kerr构型有关。在波长365、372、390、405、420和465 nm处，金属膜的Ψ，δΨ和Δ，δΔ的测量重现性分别约为0.0003°和0.001°。光谱分辨率为4 nm;在270-1000 nm连续光谱范围内Ψ和Δ的最小测量时间为20 s;磁场的大小在-2500至+2500 Oe的范围内变化;磁场的离散度为0.5 E.
展开▼
