ПРИМЕНЕНИЕ РАЗРЯДНЫХ ЯЧЕЕК ПЕННИНГА С КАТОДАМИ ИЗ УГЛЕРОДА ДЛЯ ОТКАЧКИ Хе В ДИАПАЗОНЕ ДАВЛЕНИЙ 10{sup}(-3) - 10{sup}(-4) Торр

摘要

Представлены экспериментальные данные, свидетельствующие о возможности применения разряда Пеннинга с катодами из углерода для понижения (регулирования) давления Хе от 2 × 10{sup}(-3) до 2 × 10{sup}(-4) Торр в рабочей камере сверхвысоковакуумной установки. Сорбция Хе объясняется внедрением ускоренных ионов в пористую структуру приповерхностных слоев углерода, образующихся при приготовлении катодов из порошкового материала, а также при ионной бомбардировке. При уменьшении давления Хе в указанных пределах скорость откачки уменьшается от ≈0.045 л/с до нуля, причем вид зависимости скорости откачки от времени определяется начальным значением давления Хе.