АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ ПОЛИИОННОЙ СБОРКИ

摘要

Описана автоматизированная установка ПОЛИИОН-1М для получения наноразмерных покрытий методом полиионной сборки. Рассмотрены конструктивные особенности, схема сопряжения с компьютером и программное обеспечение. Проведен сравнительный анализ параметров созданной установки и иностранного аналога. Получены наноразмерные пленки с различным количеством слоев на кремниевых подложках, показатель преломления и толщина которых определены эллипсометрическим методом.