カーボンナノチューブ製造方法及び装置

摘要

種々の応用にナノチューブを製造するに当り、安全を確保するための自動制御を含むカーボンナノチューブ製造システム及び方法。 プロセスチェンバー中でカーボンナノチューブ（CNT）を製造する方法において、ナノチューブ成長の方法を実行し、その実行ステップに応じてプロセスチェンバーから酸素をパージする。 パージのステップは、適当な時に予め決めてある時間プロセスチェンバーに不活性ガスを流すことによって行われる。