低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価

摘要

本章では，目盛誤差の要因となる誤差の検討を行うとともに，現場環境に置かれたCMMにっいて，低熱膨張セラミック製ブロックゲージ（以下，CBG）の目盛誤差からスケールの温度補正に関して実験的に評価した．また，鋼製のブロックゲージ（以下MBG）の目盛誤差からワークの温度補正に関して実験的に評価し，スケールとワークの温度計を補正する手法を提案した．さらに，熱の影響による温度測定の誤差について検討するとともに，断熱材の効果を実験により確認した．