ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФФУЗИОННЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР

摘要

Изложены некоторые результаты по разработке технологии изготовления диффузионных кремниевых структур на ОАО"Эльдаг". Показано, что полученные режимы технологии глубокой диффузии фосфора позволяют получить необходимые характеристики и стабильность результатов.